隨著微電子機(jī)械加工系統(tǒng)技術(shù)的日趨成熟而為傳感器行業(yè)帶來一場新的革命，對于壓力、差壓、液位傳感器而言，其封裝的傳感器芯片本質(zhì)將決定最終產(chǎn)品的性能與等級。以目前國際市場上廣泛采用的硅芯片技術(shù)而言，硅壓阻技術(shù)加工工藝成熟，但其信噪比特性與溫度特性有待提高；硅諧振技術(shù)加工工藝復(fù)雜過壓特性不好；本公司提供的3351J系列單晶硅差壓變送器芯片采用純度高的單晶硅材質(zhì)，其材質(zhì)特性優(yōu)于市場上通用的復(fù)合硅、擴(kuò)散硅材料，芯片采用單晶硅雙梁懸浮式技術(shù)，結(jié)合了硅壓阻與硅諧振技術(shù)雙方特點，并從工藝上做出了優(yōu)化，實現(xiàn)精度高、穩(wěn)定性好、低溫度影響、過壓保護(hù)等優(yōu)異性能，完全適用于工業(yè)過程控制、自動化制造、航天航空、汽車與船舶、醫(yī)療衛(wèi)生等多個領(lǐng)域。
一、單晶硅差壓變送器性能特點：
1、單晶硅材質(zhì)，有效提高產(chǎn)品壽命及長期穩(wěn)定性
2、雙惠斯通電橋設(shè)計，“雙梁”電阻溫度特性互補，提高芯片抗干擾能力
3、LCD帶背光顯示數(shù)字表頭可以顯示壓力、百分比和電流及0~100%模擬指示
4、通過按鍵組合操作能實現(xiàn)調(diào)零和調(diào)滿功能，以及數(shù)據(jù)恢復(fù)功能，方便了現(xiàn)場調(diào)試
5、信號轉(zhuǎn)換、信號采集與處理及電流輸出控制采用了一體化專用集成電路（ASICS）使智能變送器具有穩(wěn)定好、性能可靠、抗震性好等特點，并具有良好的互換性
二、單晶硅差壓變送器技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號：ZH3351JDP-單晶硅差壓變送器 ZH3351JDR-單晶硅微差壓變送器
測量原理：單晶硅懸浮式
適用場合：水壓、油壓、氣壓、負(fù)壓
測量范圍：-400~400kPa量程可選
測量精度：±0.1%；±0.075%
電源：DC10.5~45V
輸出：DC4~20mA+HART
三、單晶硅差壓變送器產(chǎn)品選型：
| ZH3351JDR |
微差壓變送器 |
||||||||||
|
ZH3351JDP |
差壓變送器 |
||||||||||
|
量程范圍 |
代碼 |
量程單位 |
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|
KPa |
InH2O |
mBar |
mmH2O |
||||||||
|
|
（根據(jù)以下表格中選取代碼） |
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|
輸出信號 |
S |
4~20Ma+HART協(xié)議 |
|||||||||
|
T |
特殊要求 |
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|
精度等級 |
I75 |
0.075%± |
|||||||||
|
I1 |
0.1%± |
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|
I2 |
0.25%± |
||||||||||
|
顯示方式 |
M3 |
液晶顯示 |
|||||||||
|
連接型式及尺寸 |
C2 |
丁字形螺紋接頭M20×1.5，帶Ф14焊接引壓管（GP型） |
|||||||||
|
SF |
配三閥組 |
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|
Y |
用戶約定 |
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|
安裝支架型式（GP型） |
B1 |
管裝彎支架 |
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|
B2 |
板裝彎支架 |
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|
B3 |
管裝平支架 |
||||||||||
|
隔爆等級 |
B |
ExdiiCT6 |
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四、工作壓力：
|
型 號 |
膜盒 |
工作壓力 |
|
DR微差壓變送器 |
DR1（1KPa） |
1.5MPa |
|
DR2（6KPa） |
2MPa |
|
|
DP中靜壓差壓變送器 |
M1~M6 |
25MPa |
|
DX大量程差壓變送器 |
L1（2MPa） |
25MPa |
|
L2（4MPa） |
20MPa |
|
|
L3（10MPa） |
20MPa |
|
|
HP高靜壓差壓變送器 |
HP1~HP6 |
40MPa |
|
DPS低靜壓差壓變送器 |
S1（10KPa） |
2MPa |
|
|
S2（20KPa） |
3.5MPa |
|
|
S3（40KPa） |
3.5MPa |
|
|
S4（100KPa） |
7MPa |
|
|
S5（200KPa） |
7MPa |
|
|
S6（500KPa） |
7MPa |
五、壓力量程選擇：
5-1DPS低靜壓差壓變送器：
|
量程/范圍 |
KPa |
inH2O |
mBar |
mmH2O |
|
|
S1 |
量程 |
0.5~10 |
2~40 |
5~100 |
50~1000 |
|
范圍 |
-10~10 |
-40~40 |
-100~100 |
-1000~1000 |
|
|
S2 |
量程 |
1~20 |
4~80 |
10~200 |
100~2000 |
|
范圍 |
-20~20 |
-80~80 |
-200~200 |
-2000~2000 |
|
|
S3 |
量程 |
1~40 |
4~160 |
10~400 |
100~4000 |
|
范圍 |
-40~40 |
-160~160 |
-400~400 |
-4000~4000 |
|
|
S4 |
量程 |
1~100 |
4~400 |
10~1000 |
100~10000 |
|
范圍 |
-100~100 |
-400~400 |
-1000~1000 |
-10000~10000 |
|
|
S5 |
量程 |
2~200 |
8~800 |
20~2000 |
200~20000 |
|
范圍 |
-200~200 |
-800~800 |
-2000~2000 |
-20000~20000 |
|
|
S6 |
量程 |
5~500 |
20~2000 |
50~5000 |
500~50000 |
|
范圍 |
-500~500 |
-2000~2000 |
-5000~5000 |
-50000~50000 |
|
5-2DX大量程差壓變送器：
|
量程/范圍 |
MPa |
inH2O |
mBar |
mmH2O |
|
|
L1 |
量程 |
0.02~2 |
0.08×10³~8×10³ |
0.2×10³~20×10³ |
2×10³~200×10³ |
|
范圍 |
-2~2 |
-8×10³~8×10³ |
-20×10³~20×10³ |
-200×10³~200×10³ |
|
|
L2 |
量程 |
1~20 |
0.16×10³~16×10³ |
0.4×10³~40×10³ |
4×10³~400×10³ |
|
范圍 |
-20~20 |
-16×10³~16×10³ |
-40×10³~40×10³ |
-400×10³~400×10³ |
|
|
L3 |
量程 |
1~40 |
0.4×10³~40×10³ |
1×10³~100×10³ |
10×10³~1000×10³ |
|
范圍 |
-40~40 |
-40×10³~40×10³ |
-100×10³~100×10³ |
-1000×10³~1000×10³ |
|
5-3HP高靜壓差壓變送器：
|
量程/范圍 |
KPa |
inH2O |
mBar |
mmH2O |
|
|
HP1 |
量程 |
0.5~10 |
2~40 |
5~100 |
50~1000 |
|
范圍 |
-10~10 |
-40~40 |
-100~100 |
-1000~1000 |
|
|
HP2 |
量程 |
1~20 |
4~80 |
10~200 |
100~2000 |
|
范圍 |
-20~20 |
-80~80 |
-200~200 |
-2000~2000 |
|
|
HP3 |
量程 |
1~40 |
4~160 |
10~400 |
100~4000 |
|
范圍 |
-40~40 |
-160~160 |
-400~400 |
-4000~4000 |
|
|
HP4 |
量程 |
1~100 |
4~400 |
10~1000 |
100~10000 |
|
范圍 |
-100~100 |
-400~400 |
-1000~1000 |
-10000~10000 |
|
|
HP5 |
量程 |
2~200 |
8~800 |
20~2000 |
200~20000 |
|
范圍 |
-200~200 |
-800~800 |
-2000~2000 |
-20000~20000 |
|
|
HP6 |
量程 |
5~500 |
20~2000 |
50~5000 |
500~50000 |
|
范圍 |
-500~500 |
-2000~2000 |
-5000~5000 |
-50000~50000 |
|
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